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小磨頭拋光設(shè)備-成交公告

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信息時間：

2025-08-20

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項目名稱	小磨頭拋光設(shè)備
項目編號	SUSTech-JC-2025-00212
項目類型	貨物類
成交方式	最低價成交
公示時間	本公告自發(fā)布之日起三日
成交單位	******有限公司
成交金額(元)	800000.00
成交理由	最低價成交
預(yù)算(元)	980000.0
項目預(yù)算是否含稅	國產(chǎn)含稅
備注

響
應(yīng)
情
況

采購明細(xì)

序號

名稱

數(shù)量

單位

單價/元(報價)

總價/元(報價)

小磨頭拋光設(shè)備（核心貨物）

套

800000.0

是否接受進(jìn)口	拒絕進(jìn)口
品牌	星海光電
型號	UPM5
生產(chǎn)廠商	******有限公司
產(chǎn)地信息	哈爾濱
技術(shù)規(guī)格及參數(shù)	1.1 滿足2~3英寸（碳化硅、單晶硅、單晶/多晶金剛石）晶圓 (厚度1-20 mm)加工需求。 1.2磨頭主軸、擺動工裝（2套）、磨頭修整器、床身（整體式鑄造，含機(jī)罩）、控制面板。 1.3 晶圓裝夾在擺動工裝上，通過擺動工裝可手動調(diào)節(jié)與磨頭端面垂直方向的相對位置并形成偏心旋轉(zhuǎn)，而且滿足恒力加載。 1.4 控制面板具備冷卻水流量調(diào)節(jié)、擺動工裝/磨頭轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)、磨頭在線修整、照明/排氣等功能。 1.5磨頭直徑50~350 mm、主軸額定功率4.0 KW、磨頭端面跳動精度優(yōu)于20 μm。 1.6 磨頭轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍0~1500 rpm、工件轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍0~100 rpm。 1.7 設(shè)備應(yīng)滿足最大尺寸1500×1300×2000 mm以及最大承重載荷6.0 KN/m2的要求。 1.8 晶圓加工精度應(yīng)滿足表面粗糙度Sa ≤ 1 nm、表面損傷層厚度≤ 5 nm。
質(zhì)保期	對貨物及其隨機(jī)配件提供1年的保修期，該保修期自貨物驗收合格之日起計算。
售后要求	提供設(shè)備報修電話及聯(lián)系人，采購方報修后，2小時內(nèi)響應(yīng)，48小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護(hù)，并在72小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設(shè)備故障，應(yīng)提供相同檔次、功能的設(shè)備給采購方代用。

付款方式

甲方應(yīng)在貨物交付、安裝調(diào)試、試運(yùn)行及驗收合格并收到乙方開具相應(yīng)發(fā)票之日起（10）個工作日內(nèi)向乙方支付本合同價款總額的100%。

交貨期

******學(xué)校要求提前7天（自然日）通知送貨

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